科技1分钟：电子束检测设备

在先进半导体制程持续微缩的背景下，电子束检测设备重要性正快速攀升，从过去的辅助工具，转变为影响量产可行性与良率表现的关键设备。随着制程节点迈向 7 纳米以下，线宽尺寸与缺陷尺度同步...

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检测设备 EUV