科技1分钟:无尘室ISO 14644-1分级
- 许经仪
ISO 14644-1(简称ISO Class)为目前国际上最通用的晶圆厂(Fab)的无尘室标准,以「每立方米的空气中,0.1~5微米间的特定悬浮微粒的最大允许浓度」来分级。该标准将洁净度划分为ISO Class 1至ISO Class ...
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