台积制程升级与旧厂改建双轨并进 2纳米订单爆量忙觅地建厂
- 陈玉娟／台北
台积电持续活化现有8寸、12寸90纳米制程以上晶圆厂，据半导体设备业者透露，台积竹科6寸（Fab 2）与竹科8寸厂（Fab 3/5/6/8）已着手改建大计，目前除用于CoWoS、CoPoS等先进封装外，同时也将建置自制EUV光罩护膜（Pellicle）产线，全...
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