科技1分钟：准分子雷射退火（ELA）
- 陈至娴
准分子雷射退火（Excimer Laser Annealing；ELA）是制造低温多晶氧化物（LTPO）薄膜晶体管（TFT）的关键制程。LTPO则是高端OLED面板常用的背板技术，脱胎自如今应用广泛的LTPS，不过其驱动TFT晶体管改采铟镓锌氧化物...
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