俄罗斯揭自研EUV三阶段蓝图 欲藉非ASML架构自给自足
- 李佳翰／综合报导
俄罗斯科学院微结构物理研究所（The Institute of Microstructure Physics of the Russian Academy of Sciences；IMPRAS）近日公布自研极紫外光（EUV）曝光机的长期研发蓝图，计划开发操...
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