Hyper-NA EUV 2030年登场 晶圆代工布局添变量
- 江承谕/综合报导
随着半导体技术逐渐发展至1~2纳米,极紫外光(EUV)曝光设备也开始时代更迭,最新一代Hyper-NA EUV预计2030年登场,成为台积电、三星电子(Samsung Electronics)、英特尔(Intel)事业布局变量。据韩媒...
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