中国传开始量产DUV ASML迎中国国产替代长线挑战
- 杨智家／综合报导
据知情人士透露，一家获中国政府支持、总部位于上海的公司，已首次开始制造浸润式深紫外光（DUV）微影设备，计划2026年生产约5台DUV、2027年目标约20台，并预计20...
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