三星7纳米EUV量产捷足先登 舍多重曝光企图引领半导体宁静革命
- 杨智家／综合报导
三星电子(Samsung Electronics)旗下三星晶圆代工(Samsung Foundry)正式宣布，开始以极紫外光微影(EUVL)设备生产7LPP制程技术芯片的部分层(layer)，这显示三星已克服全球半导体界33年来欲商用化EUVL面临的所有瓶颈，即使...
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