Musk暗示Terafab采FEL光源 ASML拟加速开发「FEL-EUV」有谱
- 梁燕蕙／综合报导
继电动车（EV）、火箭和人形机器人后，Elon Musk似乎开始对半导体产业既有制造芯片流程展开优化。日前公布超大晶圆厂Terafab初期投资168亿美元时，更展示一段Terafa...
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