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ASML CEO回应张晓强　High-NA EUV可省下30%成本

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    杨智家／综合报导

台积电副共同营运长张晓强近日在台积电北美技术论坛表示，ASML高数值孔径极紫外光（High-NA EUV）微影设备非常昂贵。

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