科技1分钟:混合键合机(hybrid bonder)
- 林廷宇
混合键合机(hybrid bonder)被视为实现3D IC与高带宽存储器(HBM)封装的核心设备之一。该技术透过「无凸块」(Bumpless)互连方式,直接将铜金属(Cu)与介电层材料(SiO₂)同时进行键合,实现纳米级精度的芯片连接。
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