EVG涂布显影平台重大更新 助攻台积电等产能与制程精度升级
- 陈玉娟／新竹
入列台积电供应链的奥地利半导体设备大厂EV Group （EVG），近日发布新时代EVG 120全自动光阻涂布系统，为涂布/显影平台之一的重大更新。EVG表示，新系统架构相较于前一代产品，显着提升产能、更大的灵活性和改进的制程控制，针对产品种类繁多且光阻制...
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