ASML揭新光源突破增EUV产能50% 2030年每小时可望产330片硅片
- 杨智家／综合报导
荷兰ASML研究人员表示，已研发出一种提升极紫外光（EUV）微影设备光源功率的方法，可在2030年前将芯片产量提升多达50%。ASML EUV光源首席技术专家Michael ...
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