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晶圆代工制程微缩

晶圆代工制程一开始皆依循每个时代线宽缩减约0.7倍、即晶体管数目增加1倍的规则,从1微米(μm) 、0.7微米、0.50微米、0.35微米、0.25微米、0.18微米、0.13微米,到90纳米、65纳米、45纳米、32纳米、22纳米…。
 
但其中,到0.18微米之前,晶圆代工后段制程(Back End Of Line;BEOL)金属拉线(Connection)皆为铝铜(AlCu)制程,从0.13微米起,为了克服时间延迟(Time Delay)问题,BEOL必须从铝铜改成铜(Cu)制程,但当时(2000年左右)铜制程有一些困难性,所以台积电除努力开发0.13微米铜制程外,同时将0.18微米微缩了85%,衍生出一个非业界标准的半时代制程0.15微米,提供客户更多选择。
 
这个策略果然成功,因各公司都延迟了很长的时间才跨入0.13微米制程,其间的空窗期,台积电靠0.15微米的生产让荷包进帐不少,也因此把联电远远抛在后面。从那之后,台积电便开始采用半时代制程,让客户与本身都可有最大收益。

只是到32 /28纳米阶段,因研发资源考量、客户时效上的需求及欲拉大与竞争对手差距,台积电直接进入28纳米,32纳米仅依少数客户需求制造,如此一来,相较于其他晶圆代工厂使用32纳米制程较为有利。