英特尔完成High-NA EUV验收导入14A 同步推进2D场效晶体管技术
- 李佳翰／综合报导
英特尔（Intel）宣布完成验收测试业界首台具备0.55数值孔径的商用High-NA EUV曝光机ASML Twinscan EXE:5200B，为14A制程奠定量产基础。同时，也象徵High-NA EUV技术将由研发验证迈入大规模量产（HVM）阶段，每...
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