三星跟进台积延后导入High-NA EUV 锁定1纳米、最快2030量产
- 陈玟静／综合报导
三星电子（Samsung Electronics）拟计划将下一代极紫外光（EUV）技术High-NA EUV导入1纳米制程量产，目前正专注于相关技术的商用化开发，预计2030年前后开始商...
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