不让客户为难 ASML披露Low NA EUV延伸至2031、High NA加速量产
- 梁燕蕙／综合报导
ASML日前在2026年第1季财报会议上，除了证实存储器芯片客户的需求，可说是第1季业绩超出预期的重要支撑，也进一步透露EUV曝光机分别在低数值孔径（Low NA）与高数值孔径（High NA）机种方面的最新路线图。过去曾遭延后采...
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