紧追ASML脚步？！国内自研DUV曝光机的「虚实」
- 梁燕蕙／综合报导
国内网友近来热议国内工信部披露的新款本土深紫外光（DUV）曝光机的消息，一时之间，谣传国内已开发出8纳米曝光机，甚嚣尘上。究竟事实为何？工信部披露的这项所谓的技术自主突破，又与曝光机龙头ASML差距多大？值得一探「虚实」。难不成9...
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