Levitronix提供无轴承磁悬浮马达技术

Levitronix提供专业无轴承磁悬浮马达技术。

瑞士商力威磁浮技术有限公司台湾分公司(Levitronix)提供专业无轴承磁悬浮马达技术，特别应用于半导体、生命科学及一般工业所需的超洁净度流体输送。所使用的专利技术将马达和无轴承磁悬浮系统整合于单一元件内，并且提供高可靠度、延长平均寿命，在最严苛条件下的流体输送中的工作能力。

Levitronix了解高科技产业如半导体、太阳能与平面显示器厂必需拥有可靠且安全的设备和零件、持续不间断供应洁净且稳定的流体至各种制程设备中，在此条件下是没有任何妥协的可能，避免不必要的停机跟保养是Levitronix所追求的目标。

而Levitronix所设计的高度可靠、精确、洁净的流体输送泵、搅拌泵、流量计、流量控制器等相关产品，将与专业具丰富产业知识的员工相结合，可确保提供客户无可替代的制程设备和保持工厂全天候运行。

输送研磨液的过程中由若使用隔膜泵或各种其他气动泵将产生剪应力，剪应力的产生将进而导致研磨液体中的颗粒聚集，而Levitronix所设计的流体输送泵相较与其他的最先进泵将产生更少的颗粒，因此有助于减少晶圆上的颗粒污染或残留，并由于具有高度精确和稳定流量和压力控制能力，因此Levitronix流体输送泵系统可以作为在线实时混合的动态流量控制器。

在超纯水的环境下所要求的品质是由其洁净度和污染物决定，因为其洁净度对于清洗制程的过程非常关键并且与生产良率有直接相关。Levitronix泵系统比其他最先进的泵将产生更少的颗粒，因此有助于减少晶圆上的微小颗粒残留，此外Levitronix泵可以搭配流量计或压力计使用，将其信号回馈并作为闭回路控制且提供高精确的流量控制或是稳压能力。

除了上述特别提到的应用之外，还有许多其他要求严格的半导体／微电子制程如：化学品供应、批次式晶圆清洗、CMP制程后清洗、浸润式光刻机流体输送、光阻液输送、显影液输送等，以上这些应用的共同点是需求极高洁净度、极低颗粒数产生、稳定的压力和流量需求或是低剪应力以利输送各种在半导体所需的液体或是化学品，选择使用Levitronix的产品将大幅提升良率，降低成本。

SEMICON Taiwan 9月5日至7日期间，欢迎至南港展览馆，摊位号码N192莅临参观。