日立先进科技CD-SEM 拟投资增产50%
- 范仁志／综合外电
因AI半导体需求成长，日本电机大厂日立制作所（Hitachi）旗下精密设备厂，日立先端科技（Hitachi High-Tech），已拟订增产先进半导体制程必要的精密封测装置CD-SEM，目标是2030年将产能提高50%，具体增产投资计划、以及是透过调整生产线还是...
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