Imec、ASML与台积电12寸晶圆整合创新 2D材料晶体管迈向晶圆厂
- 陈玉娟／新竹
比利时微电子研究中心（Imec）与ASML、台积电于近日举行的IEEE/JSAP超大规模集成电路（VLSI）技术与电路研讨会上，共同发表创新、稳健且可扩充的12寸晶圆整合...
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