台积A14 2028年投产 张晓强：high-NA EU不是非用不可
- 杨智家／综合报导
台积电业务开发资深副总裁张晓强最新表示，台积电即将推出的A14制程仍未看到非要用ASML高数值孔径（high-NA）极紫外光（EUV）微影设备的理由，台积电仍在评估未来制程节点是否采用high-NA EUV微影设备。据路透（Reu...
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