科技1分钟：晶圆晃动（wobbling）
- 张庭瑜
晶圆晃动（wobbling）是指晶圆在制程设备中高速旋转或传送过程中，出现非理想的偏摆或不稳定运动，通常表现为轴向（axial runout）或径向（radial runout）方向的微小位移。这类现象多发生于高转速制程（如旋转涂布、清洗、CMP）或高精度定位环节（如曝...
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