中国本土曝光机分工体系再分流 芯上微装承接上海微电子资产
- 谢昇辉/台北
中国本土曝光机产业链近期再现一桩受瞩目企业与资产重整。中国曝光机主要研发业者上海微电子装备(集团)股份有限公司,完成旗下上海威耀实业有限公司的股权转移,全面退出持股,改由同属曝光机设备体系的上海芯上微装科技股份有限公司(简称芯上微装)承接。
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