锋霈环境科技研究氟元素回收再利用 落实城市矿山理念

锋霈环境科技研发氢氟酸废液转制冰晶石，降低环境风险。锋霈环境科技

在环保科技的领域中，锋霈环境科技股份有限公司（以下简称为锋霈环境科技）已取得显着的成果。该公司以水务系统为基础，朝向循环经济的厂内废化学品资源化和绿色化学品方向发展。锋霈环境科技总经理卢宗隆表示：「自2010年开始，我们就着手研究氟元素回收再利用的技术，并于2012年在台湾、美国、国内申请专利。」

锋霈环境科技在2017年应台积电邀请加入氟元素资源化评估，并于2021年完成全球第一套在半导体厂内利用氢氟酸废液转制冰晶石的系统。同年9月，该公司正式产出冰晶石，落实城市矿山，开创了废化学品变原料的工业循环。卢宗隆指出：「这项创新技术将氟元素回收再利用，应用于客户的生产工厂，让客户在生产制造端就能实现净零碳排放。」

创新氢氟酸废液转制冰晶石  降低环境风险

锋霈环境科技成功研发出高效率转制高浓度氢氟酸废液，产出高品质冰晶石的系统模块设备。该技术可减少外部清运氢氟酸废液带来的环境风险和环保问题，同时降低客户的废液处理成本。总经理卢宗隆表示：「冰晶石是一种高值化的产品，可以大幅增加客户的营收。」以晶圆厂为例，这项技术每年可为晶圆厂创造逾新台币上亿元的经济效益。

锋霈环境科技从一开始投入研发到完成全世界首座「氢氟酸废液转制冰晶石系统」，整整历经10年。「起心动念的初衷，是希望透过此技术达到废弃物减量及资源化，主要目的要帮助客户降低委外清运成本，但新技术投入巿场初期没有实蹟，客户不敢轻易使用，让开发团队受到不少打击。」卢宗隆说。

不过，机会总是留给做好准备的人，锋霈透过专利的申请，取得经济部工业局「协助传统产业技术开发计划（CITD）」的经费协助制作测试原型机台，终于在2017年获得台积电邀请加入资源化评估，让「氢氟酸废液转制冰晶石」技术被看见，最终通过了一连串高规格测试及供应商评选。一路走来，锋霈环境科技的创新精神始终如一，因为坚持，才得以尝到成功的果实。

值得一提的，锋霈环境科技于2017年参与半导体设备和材料工业协会(SEMI)半导体展，于循环经济专区展出「氢氟酸废液转制冰晶石设备」，冰晶石产品纯度高达96%，符合高标准产品规格（CM0）；2021年9月成功于晶圆厂启用全世界首座「氢氟酸废液转制冰晶石系统」；2021年12月行销冰晶石，市场包括台湾、国内、印度、阿拉伯等国家，落实城巿采矿。

以资源循环取代传统混凝沉淀法  获大厂青睐

随着全球环境议程的崛起，锋霈环境科技以其独特的技术特点崭露头角，将资源循环引入半导体制造，以取代传统的混凝沉淀法。这不仅符合半导体产业积极发展废弃物减量政策的努力，更为环保事业带来了多重益处。据经济部于2022~2023年间发表的产业技术白皮书显示，台湾高科技产业每年产出约8.3万吨的废弃氢氟酸相关衍生物，对于这庞大的处理需求，传统方法已难以应付。然而，锋霈环境科技的相关技术已成功应用于许多国际知名企业，并计划于2023年扩大导入，旨在实现目标减废4.6万吨／年，年产冰晶石1.2万吨。这些成果不仅为半导体产业带来实质效益，还具有在其他相关产业推广的巨大潜力。

获环保署绿色化学应用及创新奖肯定，并于半导体展获广大回响

锋霈环境科技的氢氟酸废液转制冰晶石技术于2023年度获得行政院环境保护署「绿色化学应用及创新奖」之肯定，为团体组中唯一获奖之中小企业，并受邀参加SEMICON Taiwan 2023国际半导体展之创新技术发表会、新竹科学园区管理局主办之「产官学研交流会」进行技术发表，皆获得广大回响。

展望未来，锋霈环境科技将坚守「废弃物减量及资源化」的理念，持续致力于专业技术的研发，并将「减碳、节水、再利用」作为永续发展政策的核心。锋霈环境科技的不懈努力将使其成为各行各业实现环境、社会、治理（ESG）永续发展目标的理想合作夥伴。无论是在环保还是企业可持续发展方面，锋霈环境科技都值得密切关注。