中国首个EUV光阻剂国家标准启动 先进半导体材料自主化再迈一步
- 谢昇辉／综合报导
中国在极紫外光（EUV）曝光材料领域迎来重要里程碑。根据中媒人民财讯、证券时报23日报导，中国国家标准化管理委员会已正式对外公告《EUV光阻剂测试方法》，此项标准对外公示将为期1个月。该EUV光阻剂标准是由上海大学、张江国家实验室...
会员登入
会员服务申请/试用
申请专线：
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
关键字
