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加速存储器自主化 长江存储启动新一轮设备招标

  • 李佳榕/上海

分析认为,长江存储新一轮设备招标可能是为提升产能以及建立二期工厂做准备。法新社

中国大陆存储器大厂长江存储CTO程卫华日前在SEMICON China 2020会上表示,从128层3D NAND Flash的研发成功,到二期项目的开工,长江存储持续推进存储器自主化进程,中国本土半导体设备商也将随之起飞。

二期项目加速建设 长江存储积极缩小技术差距

消息人士透露,长江存储累积已采购1,362台半导体相关制程设备,目前正在进行430台制程设备招标,未来还有200多台设备采购计画,主要包括CVD、蚀刻、量测、去胶设备等。

分析认为,长江存储新一轮设备招标可能是为提升产能以及建立二期工厂做准备。紫光集团于6月底宣布,以长江存储二期厂房为施工主体的国家级存储器基地项目二期将在武汉东湖高新区未来科技城国家存储器基地建设工地开工,计划每月产能为20万片,达到目标产能后,与一期项目合计每月产能将达30万片。

长江存储国家存储器项目于2016年底开工,总投资额为240亿美元,分为两期的3D NAND Flash厂建设,其中,一期项目主要在于实现技术突破,并达成每月10万片的产能目标。

长江存储于2018年研发出32层3D NAND Flash;与海外业者差距3~4年,2019年实现64层技术量产,与海外业者差距缩小至2年;2020年4月,长江存储宣布其128层QLC 3D NAND Flash研制成功,并已通过多家业者的SSD验证。

实际上,长江存储二期项目的开工也显示其扩产正在加速,预计至2021年底,一期项目将达到每月10万片的目标产能,同时,由于技术发展较为成熟,2022年二期项目产能爬坡也有望持续超越预期。

自主化目标带动本土设备厂商 

随著长江存储扩产脚步加快,中国本土设备业者也可预见将迎来新一轮市场机遇。方正证券统计,2019年以前,长江存储设备招标的自主化率为5.9%,2019年后,该比例提升至6.7%,显示长江存储半导体设备自主程度已逐年提升。

近年来,中国本土半导体设备厂商也已陆续获得长江存储订单,2020年,中微半导体和精测电子分别获得长江存储9台蚀刻设备以及3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪的订单;而在此之前,上海睿励,中科飞测等中国本土量测设备厂商也接获长江存储订单。

中国国际招标网资料显示,截至2020年6月20日,中国本土厂商在长江存储中标数量排名依次为:北方华创(56台)、屹唐(46台)、中微公司(38台)、盛美半导体(18台)、华海清科(11台)、精测电子(8台)、沈阳拓荆(5台)、中科飞测(3台)、上海睿励(2台)等业者,产品涵盖蚀刻、沉积、检测、清洗、化学机械研磨(CMP)环节制程。

其中,获得最多设备订单的北方华创的氧化与退火设备对长江存储的市占率为64%与26%;中微公司介质蚀刻设备对长江存储的市占率则从2017年的12%在2020年第1季提升至22%;精测电子的前后端检测设备也获得长江存储采用。



议题精选-2020国际半导体展