英特尔抢先完成high-NA EUV设备组装 Intel 14A制程研发蓄势待发
- 蔡静珊／综合报导
英特尔晶圆代工（Intel Foundry）宣布率业界之先，完成美国俄勒冈州D1X研发用晶圆厂首台高数值孔径（high-NA）极紫外光（EUV）微影设备的组装。对于准备在2025年大力投入Intel 14A（1.4纳米）先进制程技术研发的英特尔而言，这可说是一项...
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