英特尔抢先完成high-NA EUV设备组装 Intel 14A制程研发蓄势待发
- 蔡静珊/综合报导
英特尔晶圆代工(Intel Foundry)宣布率业界之先,完成美国俄勒冈州D1X研发用晶圆厂首台高数值孔径(high-NA)极紫外光(EUV)微影设备的组装。对于准备在2025年大力投入Intel 14A(1.4纳米)先进制程技术研发的英特尔而言,这可说是一项...
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