低成本GaN基板 三菱化学2022年供货
- 范仁志/综合外电
为压低GaN基板制造成本,日本化学大厂三菱化学(Mitsubishi Chemical)在2017年开发出新的液相沉积技术,超临界氨酸处理(Super Critical Acidic Ammonia Technology;SCAAP),2020年改良出更低成本的SCA...
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