台湾美光1γ制程EUV热身 研发走廊打造量产捷径 
- 韩青秀／台北
美光(Micron)中科厂在2022年底量产1β节点制程之际，A3厂也将于下半年正式导入第一台极紫外光曝光设备(EUV)入厂，为2024年推向1γ的EUV量产准备。
本文开放免费阅读时间已过，限「科技」会员、「科技产业报」订户阅读，请输入您的email验证。
若还未加入，欢迎「申请加入科技会员」，可阅读全站新闻及使用数据库服务。
或可订阅免费的「科技产业报」，每日可阅读2则以上开放新闻。
若还未加入，欢迎「申请加入科技会员」，可阅读全站新闻及使用数据库服务。
或可订阅免费的「科技产业报」，每日可阅读2则以上开放新闻。
会员登入
会员服务申请/试用
申请专线：
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
关键字
