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EUV双重曝光风险高 3纳米静待high-NA新机2022试产成效

  • 梁燕蕙/综合报导

无论是台积电从2019年初第二代强化版7纳米制程才开始导入EUV技术,抑或是号称率先采用7纳米EUV制程技术的三星电子(Samsung Electronics),直到2019年下半才终于...

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