三星3纳米以下EUV双重曝光制程准备好了吗?光抢机器无济于事
- 梁燕蕙/综合报导
近来三星晶圆代工事业部高层罕见受访彭博(Bloomberg)向台积电叫阵,宣称三星斥资超过千亿美元投资扩产,预计将在2022年量产3纳米芯片,超车台积电,而其主张的理由在于,届时台积电仍以5纳米制程延伸之FinFET技术应战3纳米战局,而三星却好整以暇导入全新...
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