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志尚仪器推出第四代「无放射性射源」IMS 分析仪

  • 李佳玲/台北

志尚仪器领先推出「无放射性射源」IMS分析仪,提供终端用户可靠C/P值高的最新AMC量测方法。

志尚仪器领先推出「无放射性射源」IMS分析仪,提供终端用户可靠C/P值高的最新AMC检测方法,但以往的IMS因为技术问题都会以镍63或氚等放射性元素作为游离源,导致终端使用客户不论在使用或维修上都有著极大的困扰,为此志尚仪器特别与国外研究机构合作推出最新一代「无放射性射源」且可商用化的离子光谱分析仪(IMS)做为第四代最新的AMC利器。

此外针对Semi IRDS上的其它AMC量测方式,志尚仪器也与国立阳明交通大学环境工程研究所的蔡春进教授合力开发在线酸碱排放暨AMC分析系统(PWPD-IC),已经在T-公司以及相关LCD龙头的两家公司都已经装设并有效提供使用者改善的对策,另外蔡教授也采用本方法针对排放到大气中的颗粒(PM2.5)与气体成分进行24小时的监测。另外,志尚仪器也提供客户光腔衰荡光谱(CRDS)的分析仪针对许多特气中的不纯物气体进行分析。

志尚仪器2020半导体展展出AMC&排放管道气体分析与PM2.5及Slurry颗粒分布等相关设备。

2020年也结合相关德国的技术集成为符合SEMI C79-0113及C93-0217 Guide可量测3-350/8-1200nm纳米粒径分布,除了可作为超纯水(UPW)的在线监控设备,也特别针对CMP(研磨机)所使用的Slurry粒径分布量测提供完全新设计的LNS系列;对于极低浓度或是真空腔中的微量气体,志尚提供RGA在线质谱系统以及在线型ppb级总有机性气体(TVOC)等解决方案;此外也会展出高科技厂房常用的工安环保及IAQ等相关设备。

第四代无放射源IMS分析仪 符合SEMI微污染分析

在SEMI IRDS Roadmap中所建议半导体厂中侦测AMC的分析方法为PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等,而IMS技术为目前最常用的监测方式,主要在于其价格相对较低与操作简易,但是以往客户都会因为使用了含有镍63或是氚等放射性元素造成使用上有著不少的限制,因此近年来志尚仪器一直努力不懈的与国外做相关技术的交流,目前已经成功的开发出第四代的离子电泳分析仪(IMS),其设计纳入了前三代的优点,可以使用空气做为Dopant外也可以采用化学Dopant,另外在电路上也采可以交换正负极的方式一机可分别侦测酸碱两种气体,并且使用空气为电荷供应源时可以同时量测多种酸性气体(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2);此外可加温的侦测器设计可以避免样品浓度过高造成污染。

最新高科技厂房酸碱气体侦测 暨PM2.5质量及成分分析技术

此外志尚仪器还继续与国立阳明交通大学蔡春进教授的进行更进一步的技术合作,并成功将蔡教授的Denuder技术进行商业化改良,并与ISO 17025实验室结合,已经成功开发出新一代的AMC分析仪(PPWD-IC),除了可以针对大气做成分分析也成功应用于高科技厂房有关酸碱排放气体(五酸一碱)的在线侦测,志尚仪器在交大环工所蔡春进教授的指导下,成功将原本使用在AMC领域的PPWD(湿式平行板气液吸收器)用于排放管道中五酸一碱的侦测,也可经由SDEP/PILS进行微粒中化学成分的分析。

此外,更与蔡教授合作发展新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统,针对高科技厂房中因为酸碱气体与高湿度造成光学系统的不准度设计特殊的前处理设备,更使用Beta-Gauge做双重验证确认数值准确度。

另外,近来更合作开发相关PM2.5及气胶微粒采样设备,回收率可达95%以上,与之前的Denuder合体可以同时且有效的针对酸碱排放管道气体及PM2.5微粒样品进行成分分析;目前并成功与林口电厂合作监测上下游排放PM2.5与大气的成分。

打破20nm极限 可量测UPW 或Slurry 10nm以下微粒子

志尚仪器与德国技术合作继续推出突破20纳米极限使用于高科技厂房中超纯水使用的超微细粒子计数器,采用先进的雾化器(Nebulizer)系统可将UPW超微细颗粒经由 SMPS系统可以量测水中或Slurry 中的粒子分布达 3-350/8-1200nm,分析时间也可大幅缩短。

如需进一步志尚产品讯息,请上志尚仪器官网查询,欢迎业界先进莅临会场参观指教,展示摊位号码:南港展览馆4楼L0208。



议题精选-2020国际半导体展