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科林研发支持新一代逻辑和存储器元件制造

  • 林佩莹/台北

科林研发以创新技术,支持新一代逻辑和存储器元件制

科林研发(Lam Research Corporation)是全球半导体制程设备的领导供应商之一,一直以来提供半导体晶圆生产客户最先进的技术与全方位的服务,而深受合作伙伴的信赖。科林研发致力于推动创新,并透过优异的系统工程、技术开发、与客户合作,持续不断推出各种关键技术与优异的成本效益方案,协助客户在制程开发与产能的扩充。

为克服半导体制程在微缩的持续挑战,科林研发近来发表两项重要技术,能以更低成本,支持新一代逻辑和存储器元件的制造,并提供芯片制造商未来创新所需的先进功能和可扩展性。

首先,是全新发展的电浆蚀刻系统解决方案—Sense.i平台。它不但突破性地提升蚀刻制程的表现,并拥有革命性的空间效率可提高50%以上的单位空间产能,协助客户同时达成最佳制程控制与最高生产效率。此外,该平台运用科林研发独家的Equipment Intelligence技术,其自我感知能力可大量撷取和分析数据、辨识模式和趋势,并确定改善措施。Sense.i平台还具有自主校准和维护功能,大幅减少维修与人事成本。其内建的机器学习算法,使机台能够自我调适,将制程变异降至最低,并将晶圆产能最大化。

另一项技术是应用于极紫外线(EUV)曝光的乾式光阻(Dry Resist)技术。随著芯片制造业者开始引进EUV微影系统于先进制程,如何在曝光剂量、分辨率、制程缺陷(边缘粗糙度)中取得平衡一直是关键的挑战。而科林研发此项技术将能提供一个突破性的解决方案,以更低的曝光剂量、达到更高的微影分辨率,并同时降低制程缺陷。这项技术不但有机会解决先进微影成形上的挑战,并可协助客户节省可观的生产成本,也同时为环境提供更具永续性的解决方案。

这两项创新技术不但提供半导体制程与摩尔定律更好的创新解决方案,同时也展现科林研发将环境、健康与安全(EHS)的永续管理作为企业核心原则的理念。科林研发相信创新技术能促进美好生活的实现,但仍须确保未来环境的永续性。展望未来,科林研发会持续与全球客户紧密合作,加速创新并继续朝绿色制造和永续发展的方向努力。



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