半导体厂每站生产制程中的物料搬运开始朝智能化运输发展,已从成熟的自主移动机器人(AMR)朝空中无人搬运车(OHT)发展,台厂代表性业者包括广运、盟立、均豪等。
封测厂架OHT系统 幕后推手是谁?
半导体物料搬运朝空中发展 OHT从晶圆厂延伸至封测端
台系半导体设备进击 广运「舖天盖地」助生产效率
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