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制程持续推进 FinFET量测挑战大增

  • 刘慧兰

10/7纳米及更先进的半导体制程面临诸多挑战,其中一项就是量测方法(metrology)。量测是测量并将结构特征化的一种技术,用以找出元件和制程问题,确保良率。28纳米以上...

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