大陆半导体设备面临量产与国际诉讼考验
- 徐静初／综合报导
大陆半导体设备国产化是实现国产化芯片最关键的一役，近期，包括北方华创、电科装备集团分别在立式氧化炉、化学机械研磨设备皆相继取得生产阶段性突破。尽管，面对国际厂家激烈竞争与商业兴讼围堵手段，陆产设备厂家仍取得积极性进展。另方面，据业内人士透露，中微也将极积反击...
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