工研院自研半导体溶液监测器 打入台积电供应链
- 连于慧／台北
工研院研发的「新时代溶液中粒子监测器」扮演半导体业者「鹰眼」的功能，更打破传统用的光学检测，提供更多检测机制，日前更获得半导体大厂台积电采用，工研院也计划年底前分割独立该事业部，与新创公司合资成立新公司。
工研院今年首度进军...
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