加速光阻剂韩国自产 东进世美肯传再添曝光设备
- 范维君／综合报导
韩国半导体材料业者东进世美肯(Dongjin Semichem)传为了加速韩国光阻剂(PR)自制，可能再度添购氟化氩(ArF)曝光设备。日前也传出东进世美肯计划2020年上半，量产供应10余种光阻剂，目前正如火如荼进行产品测试。
据ET N...
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