EUV时代来临供应链先开战 美商Entegris控家登侵权 一审判赔近10亿元
- 陈玉娟／台北
7纳米以下先进制程关键推手的极紫外光(EUV)微影技术，量产阶段即将到来，包括台积电、三星电子(Samsung Electronics)及英特尔(Intel)将陆续进入EUV时代，然EUV大战尚未正面交火前，供应链已先开打。全球2大极紫外光光罩传送盒(EUV ...
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