EUV光罩技术发展前景乐观
- 刘慧兰／综合报导
随着极紫外光(EUV)微影技术移向生产，半导体界对EUV的信心亦不断提高，但仍需光罩等基础相关技术的配合才能顺利应用于量产。据Semiconductor Engineering报导，EUV光罩基础设施牵涉数种技术，这些技术目前的发展阶段不尽相同。多电子束光罩...
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