集成电路精彩的摩尔旅程(二):神奇的光刻机 光波波长的摩尔游戏
- 林茂雄/专栏
集成电路线路的分辨率约略等于光刻机所使用的光源波长,因此光波波长也就主导了摩尔定律的进程。
一:1984~1995:汞灯...
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