奇鼎精耕微影制程设备维护服务 提升黄光制程良率

奇鼎黄光制程服务团队。

刘中兴／台北
综观半导体元件制造过程，其中含括光阻涂布、曝光、显影、等步骤黄光制程，是相当关键的一环，因此如何藉由高精度制程环境控制、空气微污染物去除等相关技术，善加控制与监测黄光制程环境品质，以期提升制程良率与设备妥善率，无疑至关重大。

着眼于此，一向以气流制程为核心技术的奇鼎科技，提升洁净室所需之精密温湿控制技术，及微粒(Particle)与气状分子污染物(AMC)的去除技术，开发出对应的高精度制程环境微控设备，包括恒温恒湿机(TCU)、及恒温恒湿微污处理设备(TAU)，更藉由核心技术基础，提供客户旧系统技术精进改善与维护等服务方案，全力确保客户设备的妥善率与良率。

奇鼎科技总经理郑智文表示，环顾现今大中华市场的黄光制程环境净化需求，主要来自两块，一是8寸晶圆厂既有机台的维护与精进，另一则与对岸大举投资兴建半导体厂息息相关，在建设过程中，伴随而来的精进与改善的需求相当可观，奇鼎科技将提出更快与更有效率的解决方案服务客户。

放眼日韩，已有不少专攻半导体制程微环境控制的业者，在温湿度控制方面堪称实力强劲，有些甚至成为知名曝光机或显影／涂布设备大厂的夥伴，若奇鼎一味与这些可敬对手硬拼，肯定不是办法，因此朝向「小区域内的Total Solution」利基路线发展，除恒温恒湿控制外，也将触角延伸到Particle／AMC净化，辅以自动化侦测、有机气体在线分析系统等机制搭配，让奇鼎跃居制程微环境控制的整体方案的提供者。

值得一提，奇鼎为了深度满足客户在于黄光制程环境控制的种种需求，尤其协助客户端的基础工程师有效解决各种疑难杂症，遂于2012年起提供系统健诊、技术精进与维修改善等相关服务，标榜提前系统健诊、快速侦错与对应， 预防保养与维护等特色，帮助客户避免非预期停线与降低停线损失。

服务团队深具历练  可协助客户精进制程

论及奇鼎的服务优势，郑智文说，首先是该公司在台湾、大陆皆设有营业据点与人力，因而可争取时效就近排除障碍，平均在8小时内解决难题，确保客户端黄光制程环境的稳定性。

其次综观奇鼎服务团队，拥有不少深具黄光制程背景，或富含曝光机、显影、涂布相关设备经验的人才，不但有助提高维护效率，还可进一步基于专业角度，针对客户的制程环境提出精进改善的建议，增强各种制程设备的运作效能。

为达成高效能客户服务奇鼎建立完整的备品库存，内容涵盖主要厂牌的风机、蒸发器、膨涨阀、制水阀、冷媒与压缩机等等关键零组件，故一旦客户机台当中有任何模块出现异状，奇鼎皆能凭藉正常健康的备品，迅速换置失效的模块，而非费时执行现场检修；此一独特运作方式，使种种难题得以被快速有效地化解，大幅缩短产线停线时间，把损失降到最低。

郑智文强调，透过常态性固定服务的实施，不仅有助于了解客户有无其他衍生需求，并透过与客户的密集长期互动而增进黏着度，更可与基础工程师建立良好合作关系，其间所蕴含的未来价值非常高；所以尽管对奇鼎而言，Overhaul服务不见得能快速增裕营收，但依然会认真经营。

总括而论，奇鼎自许为制程微控与微测的Total Solution提供者，迄今已能达到±0.02度的温控精度及±0.5%的湿度精度，堪称大中华区的唯一。

更重要的，其积极瞄准德、日、美系主要Tool Vendor，从相关制程设备的改机业务切入，力求在彼此合作过程中展现价值，再逐步争取成为这些Vendor的合格供应商，此策略方向兼具积极与稳健，截至目前也已开花结果，奇鼎已成为德国半导体涂布及曝光机大厂的标准温控配备提供者，也正在接受美系大型半导体制程设备公司的辅导与稽核，争取成为正式的供应夥伴。