Aerotech推出精密压电定位平台

Aerotech精密压电定位平台QFOCUS QF−50。

Aerotech推出QFOCUS QF−50压电纳米级定位平台，专为高性能显微物镜和光学定位而设计。QFOCUS QF−50拥有400μm的闭回路行程和450μm的开回路行程、高速、0.01%的线性度，及次纳米级分辨率和4nm的双向重复性。

QF−50适用于光学仪器和下一代镭射微加工应用。由于采用高刚度机械设计，QF−50与同类压电扫描仪相比具有更大、孔径(NA)数值更高的物镜。QF−50是需要高精度、高产量及长行程光学定位应用的理想选择。

QFOCUS QF−50采用有限元分析优化后的精密挠性轴承，具有出色的刚性和共振频率，可实现更高的产能和快速的闭回路回应；同时，为考量QF−50挠性轴承的设计，确保其在整个行程范围内拥有无与伦比的几何性能，平直度误差仅40 nm。

QFOCUS QF−50使用独特电容式传感器设计的可选闭回路回馈使得其拥有次纳米级分辨率和高线性度。与应变规或压阻式传感器的差异是，电容式传感器可直接测量定位平台机架，且具有优异的精度和重复性。

当与Aerotech公司Q系列控制器和驱动器结合时，QF−50展示了其次纳米级定位分辨率和定位稳定性(抖动)的特性，同时保持较高的定位带宽；还拥有高级软件选项，如动态控制工具箱和运动设计器，可提供各种高效且易于使用的工具，包括迭代学习控制，谐波消除和命令塑形功能，从而提供更佳的动态追随功能和更快的位移整定时间，并可使用OEM驱动器选项。

QF−50拥有螺纹转接环，适用于大多数显微镜和物镜；显微镜的转台允许在任意方向快速简单地定位及安装。此外，定位平台上的螺纹孔为机器或其他光学仪器中的定制界面提供了替代安装方式。QF−50具有标准的29 mm透明孔径，还可提供定制化定位平台设计、行程和螺纹转接环。