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肤畅附随 穿戴装置传感﹧感应与微机电技术

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MEMS麦克风已是移动设备必备,更将进军穿戴式装置市场。图片来源:ST/Akustica
MEMS麦克风已是移动设备必备,更将进军穿戴式装置市场。图片来源:ST/Akustica

微机电系统(MEMS)是将机械元件与微型电子元件融合在一起的工业技术。在各MEMS元件制造与供应商的制程与技术的提升之下,让MEMS的体积更小、能耗更低、甚至采多合一的功能设计,以应用在电子、汽车、医疗、国防、航空等工业领域。如今在穿戴式装置兴起的年代,MEMS的应用更加淋漓尽致,厂商的传感技术也将发挥到极致,让智能生活的无所不在。接下来看看MEMS技术在穿戴式科技产品的应用现况…

移动设备引爆的微机电元件市场需求

3轴加速器?3轴磁力计?3轴陀螺仪+1压力计所构成的10轴感应元件。图片来源:Freescale

3轴加速器?3轴磁力计?3轴陀螺仪+1压力计所构成的10轴感应元件。图片来源:Freescale

内建心率器功能的智能手表?手环。图片来源:MioGlobal/Samsung

内建心率器功能的智能手表?手环。图片来源:MioGlobal/Samsung

自2006年任天堂率先发表了Wii,开启体感操控的游乐器新时代,而苹果在2007年发表的iPhone智能手机、与2010年发表的iPad平板电脑,也率先为移动设备市场开启多指触控的新操作时代,引爆了MEMS(微机电系统)市场需求量逐年暴增。

应用到体感控制的MEMS元件,主要内建了惯性传感元件(Inertial Measurement Unit;IMU),以用来侦测物体运动的元件,包含加速度计(Accelerometer或G-sensor)、陀螺仪(Gyroscope或Gyro)、磁力计(Magnetometer或M-sensor或称E-Compass)。

例如2009年的苹果iPhone 3G的加速器为ST LIS331DL,到2010年的iPhone 4的时候,A4 CPU整合了陀螺仪,再搭配AKM8975的磁力计与STM33DH加速器,IMU必备的三种传感器全到齐。也成为当今许多手机之动作感应器的必备元件。

光学感应元件部分,主要有摄影机(Camera)、距离感应器(Proximity Sensor)、光度传感器(Ambient Sensor),可以用来传感周遭环境,可以侦测到手势移动,来做为手势输入或人脸识别等应用,亦可应用在智能眼镜这类的穿戴式产品。

此外,在环境传感元件部分,像是温度计(Thermometer)、气压计(Barometer)、湿度计(Hygrometer或Humidity Sensor)、压力计(Manometer或Pressure Sensor)、计步器(Pedometer),甚至心率器(Heart Rate Sensor)等等,主要用来提供给户外运动者统计运动量的应用,主打健康照护市场。

惯性传感元件的进化  从3轴到12轴

早期的MEMS元件,大多是采用单一功能来设计,以惯性式传感元件(IMU)来说,就包含了:3轴加速器(以下简称A;产品有Analog Devices AXDL330、Freescale MMA7660FC、ST LIS3DH、Bosch BMA150等)、3轴磁力计(以下简称M;产品有如ST LIS3ML、Freescale MAG3110、Honeywell HMC5883L等)、3轴陀螺仪(以下简称G;产品有如ST L3GD20、InvenSense ITG-3200等)。

由于制程技术进步,近年来新一代的IMU元件,除了将体积缩小之外,多合一的MEMS元件(俗称Combo MEMS)也纷纷出炉。MEMS大厂们纷纷推出IMU Combo MEMS,有些是所谓的6轴设计(即整合上述A+M或A+G的功能,例如ST LSM6系列、InvenSense MPU-6500系列),有的是6+3轴设计(整合上述A+M的功能,然后模拟出G的功能,例如Kionix KMX61G),也有9轴设计(整合上述A+M+G的功能,如InvenSense MPU9x50、Bosch BMX055、ST LSM9DS0等),目前6+3轴、9轴已是新一代IMU芯片的主力产品。

Kionix的KMX61G(6轴惯性传感器),整合了加速度计和磁力传感计,搭配内建的软件来模拟陀螺仪,整体功耗可再大幅缩减,为9轴产品的十分之一,另还有嵌入式温度传感器,3x3x0.9mm封装尺寸,适合应用在于保健、健身与监测应用上的穿戴式移动设备,也荣获2013年最佳传感器创新奖。

另外,还有所谓的10轴设计,即A+M+G共9轴之外,再加一个P(P为压力计)功能,透过前三轴算出压力值。这就是所谓的DoF (Degrees of Freedom;全自由度)动作的IMU芯片,这类产品有Analog的ADIS16407。

当然,还有厂商针对Windows 8 Sensor Hub设计出USB传感模块,支持12轴架构,亦即上述10轴再加温度计与光源感应器,搭配微软的Sensor API,以供厂商来设计出电脑产品。例如Freescale RDFXWIN8USB。

穿戴式装置所应用的惯性传感元件

在穿戴式科技已成显学的今天,各厂商纷纷发表多款如智能手表、智能手环等穿戴式商品,以时尚造型、体积迷你等诉求来吸引消费者;为主打健身与运动诉求,其内建了许多惯性传感器(IMU Sensors),也有内建环境传感功能的产品。

这些比手机、平板更小的穿戴式装置,势必得应用到更小的元件设计,来满足穿戴式装置需要更轻薄短小的要求。因此众MEMS元件制造商,纷纷推出前述的多合一的MEMS系统元件,使体积更小、功能更多,让系统设计上更加简洁、容易。

如今许多穿戴式装置,在IMU元件上,大多只配置3轴加速器,因为只要加速器,就可计算出运动量(计步器、跑步?骑车速度等等),包含Qualcomm Toq、Martian Passport等智能手表,以及Nike+ FuelBand SE、Adidas miCoach SMART RUN、Garmin Forerunner系列、Jawbone UP系列等运动手表?手环。

好一点的智能手表?手环,则是配置六轴陀螺仪?加速器为主,以Samsung Gear 2/Neo智能手表与Gear Fit智能手环所内建的InvenSense(应美盛)的MPU-6500,便是六轴陀螺仪?加速器的设计,且采3x3x0.9mm QFN封装,体积非常小,适合放在穿戴式产品。

其他品牌部分,像是Sony Smartwatch SW2与Smartband SWR10、Pebble Steel、i’m Watch、Fitbit Flex、Kreyos Meteor等手表?手环,可以计算出活动量、睡眠品质、计算卡路里消耗等等。

MEMS麦克风  抗噪让语音更清楚

MEMS麦克风,属于电容式麦克风的变型,其压力感应膜是以MEMS技术直接蚀刻在芯片,同时整合一些电路与前置放大器。由于比传统麦克风具备降噪音、体积小、高效能、不担心电子杂讯与高频RF干扰问题等优点,因此很快成为市场上移动设备的宠儿。

Knowles(楼氏)是MEMS麦克风的领导厂商,在2003年首度推出,最早导入Motorola的超薄型手机,随后越来越多厂商导入。苹果在iPhone 4内建Siri语音识别功能时,也导入双MEMS麦克风(Knowles + Infineon组合)来提升收音效果。MEMS让体积可以进一步缩小,同时具指向收音效果。使得后来越来越多智能手机也陆续导入双MEMS麦克风,来提升录音品质。

在穿戴式装置上,许多具备语音输入和控制的智能手表,皆有内建MEMS麦克风来帮助降噪。如Samsung Gear全系列、Martian Passport、以及Kreyos Meteor。

心跳感应器上「表」  脸红心跳全纪录

Pulse oximetry(脉搏血氧仪;SPO2),是一种可以监测动脉中携带与不携带氧的血红蛋白的比例。以两颗绿色LED灯探测,分别以波长为660纳米和905?940纳米,来照射皮肤部位。因为含不含氧的血红蛋白对这两种波长的吸收率有很大的差别,透过此方式便可计算出两种血红蛋白的比例,以检测健康状态,不需要抽血。此外,该仪器也能「看」到脉搏率,以计算出心跳次数。

日前飞利浦(Philips)开发了超迷你的脉搏血氧仪,可以应用在穿戴式装置(如智能手表、手环等产品),采用上述的技术,但由于上述的方式适合在静止的情况下测量比较精准,在运动时会因为动作太大而测量不准。因此为了修正到让运动中也能测量到心跳,Philips额外推出一个动态感应器并内建动态数据特殊处理软件,让使用者就算跑跑跳跳,也能透过动态补偿的方式来修正到真正的心跳率。

例如MioGlobal Alpha 与Adidas(爱迪达) miCoach SMART RUN运动手表,其手表背面便镶入这样的传感器,可以为运动员量测出心跳状态,免除需要另外携带心率带的困扰,更可透过血氧浓度来侦测病人的健康状态,以便适时提出警讯。

此外,Samsung Galaxy S5手机,以及Samsung Gear 2/Neo、Fit智能手表?手环,背面也都配备自家的脉膊侦测仪,该功能可以提供让使用者做好自我健康管理。