英特尔率业界之先,完成ASML首代高数值孔径(High-NA)EUV微影设备Twinscan EXE:5000组装,接下来会进行校准并打出「第一道光」。
EUV新订单季减9成现警讯 ASML要靠国内与英特尔撑业绩
英特尔High-NA EUV设备就绪 抢快采用避免重蹈覆辙?
三星搁置High-NA EUV技术 恐落后英特尔2~3年
英特尔抢先完成high-NA EUV设备组装 Intel 14A制程研发蓄势待发
Intel 14A制程率先采用 一窥ASML首台High-NA EUV技术细节
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