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掌握关键技术优势 奇鼎科技国际半导体大展亮点

  • 刘中兴台北

掌握关键技术优势 奇鼎科技国际半导体大展亮点
掌握关键技术优势 奇鼎科技国际半导体大展亮点

身为台湾首屈一指洁净空调专家,奇鼎十余年来在高精度环境监测与控制领域已累积多年技术经验,为符合各个高端制程不同的环境控制需求,在今年半导体大展特别展出三大主轴:

一、独家专利的有机气体实时在线分析检测系统(Inline AMC Monitoring),为线上气体取样形成的整合产品,连结多点、分析、线上整合的监测趋势,以无人自动化实验室等级的精细度来执行制程环境监控的标准。

二、另一展出重点为高精制程环境控制TAU(曝光机镜组雾化防护机组),藉由业界最精密温湿度控制及空气净化的掌握,提供半导体曝光机黄光制程段最强环控后盾,有效阻止化学污染物腐蚀,防止曝光机镜面雾化且延长化学滤网寿命,提升产品良率,目前也是台湾温控设备搭配AMC去除技术的首创业者。

三、最后亮相登场的为SRU有机溶剂回收设备,能够将半导体Coating 制程中所浪费的有机气体回收,并撷取有效之光阻剂,不仅大幅降低新液使用量实时监控系统及实用的管路设计,回收率还可达到60%。

奇鼎科技所提出的全方位系统方案,从环境的温湿度、化学微污染物的控制去除,乃至于实验室分析等级的有机气体实时在线分析检测,可在线监控厂房设施及生产环境的情况,借此作为品质控管的大数据。

目前合作夥伴触角已经遍及全球,不仅在大陆设立据点,更跃身成为各国际大厂合格供应商,包含美国最大半导体A厂,以及德国S厂,在众多竞争激烈的厂家中脱颖而出,奋力突破海内外技术的困境与匮乏,成为一流的高精密控制整合顶尖制程设备商。