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亚泰半导体化学研磨液系统SEMICON创新技术发表

  • 台北讯

2018国际半导体展SEMICON Taiwan将于南港展览馆盛大展开,适逢集成电路IC发明60周年,以「IC 60大师论坛」作为庆祝台湾发展集成电路一甲子之盛事。回顾60年来半导体产业的热情不断在台湾发光,带领产业迈向一个又一个新世代;其中,细线化和平坦化制程相辅相成,成为影响半导体世代精进的关键。

亚泰半导体以研磨液供应技术(Slurry Mixing and Dispense)的角度切入,以精准混料、稳定运行、可靠质量及安全系统运转的方式,供给符合机械平坦化CMP制程要求的化学研磨液供应,20余年来与半导体世代一同前进。

亚泰半导体Asia ICMP展会摊位K2960于一楼「高科技厂房设施主题专区」(High-Tech Facility Pavilion),将展出半导体液体输送混料系统(Semiconductor processing liquid dispensing system)完整概念。

实体展出符合微型晶圆厂(minimal-fab principle)概念之新产品,包括在线滴定分析模块(In-line Titrator Metrology Module)及特殊流道设计之独家分料阀箱(VMB, Valve Manifold Box)。

另有独家设计制造产品,完全符合化学研磨液特性规划之原液桶快速多管接头(Dip Tube)、零死角组合阀(Block / Plug Valve)、脉波吸收Damper,及新型液体过滤器模块(Advanced Liquid Filtration Housing)。

并于开展首日9月5日中午12点20分,亚泰半导体将在展会四楼舞台L1008创新技术发表会(TechXPOT),主讲「先进制程液体输送系统SDS/CDS的全面进化模式」,由徐技术长分享,多年来亚泰与客户一同世代精进、成长,一同前行的前瞻与价值开创。