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SEMICON China家登推ASML认证EUV光罩传送盒

  • 陈婉洁

上海讯

已逾而立之年的SEMICON China,即将在妍妍春日的3月20~22日登场。每年SEMICON China都是中国大陆首要的半导体产业盛事之一,当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商无一缺席。

大陆是世界半导体产品的主要消费国之一,市场规模占到亚太区总量的一半以上。近几年来,大陆对IC产业发展的政策、投资不断加大支持力度,为产业快速发展形成支撑。伴随AI、5G、电动车、生物辨识、物联网等新技术崛起,全球各大半导体大厂对于新进技术的投入仍不遗余力。家登近年大量投入先进载具及其相关设备产品研发生产,2019年也将在SEMICON China盛会上展示更加进步的先进载具系列产品。

大陆知名关键性贵重材料之保护、传送及储存解决方案集成服务商家登日前正式发布新一代EUV极紫外光光罩传送盒G/GP Type同时获全球最大半导体设备商ASML认证,G/GP Type 版本可用于NXE:3400B,家登加速进入EUV微影技术先进裂程,大量制造全面启航。

耗时近两年,家登专注资源与ASML合作开发新版本的EUV极紫外光传送盒,目标锁定为更高更严密的防污染、防缺陷性能。本次认证的G/GP Type EUV极紫外光传送盒规格与条件定更为严谨,在ASML的协助下历经各种专业测试,家登全数通过功能性、抗缺陷性及远距运送等各项测试,正式取得ASML认证。

G/GP TypeEUV极紫外光传送盒可用于微影技术IC大量制造ASML最新曝光机NXE3400B及现有机台上。此外,家登同时提供G-Type(无光罩护膜)及GP-Type(有光罩护膜)两种版本,满足客户不同性能与规格要求,成为客户在先进制程上提高良率与效率的首选伙伴。

家登G/GP Type EUV极紫外光传送盒取得认证将为家登带来新一波营运高峰,世界各大晶圆制造厂新一代ASML曝光机将于近年陆续安装完成,直接带动家登EUV G/GP Type极紫外光传送盒需求急速攀升,为满足相较2018年与2019年全球大客户大量需求家登G/GP Type EUV极紫外光传送盒取得认证必为家登带来新一波营运高峰。

世界各大晶圆制造厂新一代ASML曝光机于今年已陆续安装完成,直接带动家登EUV G/GP Type极紫外光传送盒需求急速攀升,为满足相较2018年与2019年全球大客户后续大量的订单需求,家登树谷厂及南科厂生产基地已做好全面量产准备,新增人员、机台及产品线均已到位,随时可以提供全球大客户从试产到2019全面量产的EUV G/GP Type产品需求,并可以提供全球客户实时且迅速的支持与服务。

G/GP Type EUV极紫外光传送盒通过ASML认证直接带来的订单效益,伴随半导体市场客户需求,家登产能满载至2019年第1季,此波半导体需求为家登带来营运动力,家登半导体本业的营运效能及技术表现将在EUV极紫外光光罩传送盒的带领下再创高峰,伴随全球半导体技术走向先进制程,2019年家登整体营运表现值得期待。

规模年年扩张的2019 SEMICON China即将展开,超过1,000家厂商,数百亿产值之新商机等待著相遇与媒合机会。家登在此盛会中,除展示更加进步的先进载具系列产品,更抓紧每个了解客户的机会,积极谨慎地推进布局大陆市场。

家登精密定位为「关键性贵重材料之保护、传送及储存解决方案集成服务商」,主力产品为光罩传载解决方案及晶圆传载解决方案,目前为高阶光罩传载解决方案的市场领导者。产品应用横跨半导体、LCD、LED、太阳能光电、MEMS(微电子机械系统)以及GaAs(砷化钾)等等重要领域。家登精密3月20~22日参展SEMICON China2019,展位号N2-2808。